パルスユニット　アルバック　A2KH-25

パルスユニット　DC電源　パルス出力　プラズマ発生電源
メーカー：ulvac（アルバック）　型式：A2KH-25
発振周波数：1k～20kHz　逆パルス幅：5μs/10μs

DC出力をパルス出力に変換しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。DC電源に接続することでターゲット上の電荷を中和し、異常放電を防止するために設計されています。DC電源と組み合わせることで、大電力DCパルス電源システムとしてご利用いただけます。また、異常放電の抑制や高性能な異常放電処理（アークハンドリング）を実現するパルスユニットとして、さまざまなプロセスにおいて安定した運用を可能にします。

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キーワード（メーカー）：アネルバ・日本電子・インフィコン・アルバック・神港精機・オプトラン・シンクロン
キーワード（品名）：スパッタ装置・真空装置・真空蒸着装置・プラズマ電源・成膜装置・DC電源・直流電源

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