plasma

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　Model.1020-[M230725A02]

  6. RF電源　ダイヘン　DRFS-5SA

  7. プラズマリアクター（プラズマ処理装置）ヤマト科学　PR510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

  11. 高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

  12. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

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