マッチングコントローラー

  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年11月
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