マッチングコントローラー
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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