マッチングコントローラー

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  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

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  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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