マッチングコントローラー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年9月
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