マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

マッチングコントローラー　RF 高周波 プラズマプロセス
メーカー：AS-TECH　型式：RC-11

マッチングコントローラーは、主に半導体製造装置の高周波（RF）プラズマプロセスにおいて、高周波電源と負荷（プラズマ）のインピーダンスを自動整合（マッチング）させる装置です。反射電力を最小化し、電力を効率よくプラズマに伝送して、安定したプロセス再現性を実現します。マッチングネットワーク（整合器）とセットで動作する、コントローラー本体を指します。ベクトル制御などを用いて、プラズマ状態の変化に瞬時に対応し、整合器（マッチングボックス）を制御します。主に半導体や液晶の製造工程におけるプラズマエッチング、CVD装置などに用いられます。

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キーワード（メーカー）アドテック・京三・KYOSAN・アルバック・AE・アドバンスエナジー・アプライドマテリアル・AMAT
キーワード（品名）高周波電源・RF電源・スパッタ電源・マッチングボックス・CVD装置・エッチング装置・プラズマ処理装置

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