メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500
この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。
コーティング、親水化処理、イオンエッチング
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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理
イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
