株式会社未来産業技術研究所

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1. 

   ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]

   • スパッタ装置
   • 半導体・電子部品装置
2. 

   イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

   • エッチング装置
   • 半導体・電子部品装置
3. 

   スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

   • エッチング装置
   • 半導体・電子部品装置
4. 

   イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]

   • 【売却済み：過去の事例】
   • スパッタ装置
   • 半導体・電子部品装置
5. 

   クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

   • カーボンコーター
   • 半導体・電子部品装置
6. 

   イオンスパッタ装置　日本電子製（JEOL）
   型式：JFC-1100E （M190926A05）

   • 真空蒸着
   • 半導体・電子部品装置
7. 

   スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
   型式：JUC-5000 （M190810A05）

   • スパッタ装置
   • 半導体・電子部品装置