スパッタ装置 クイックコーター 成膜装置
メーカー：サンユー電子 型式：SC-701
スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つで、主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。本機は、各種金属の薄膜作製をコンパクトで使いやすい装置で、電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製、プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能な前処理装置です。
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キーワード（メーカー）：真空デバイス・日立・日本電子・ALS・アルバック・プロダクトアイ・サンユー電子・JEOL
キーワード（品名）：薄膜作成・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・SEM・Au・Al・COB装置・スパッタ装置
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