株式会社未来産業技術研究所
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試料コーター 卓上スパッタ装置 試料作製メーカー:日本電子(JOEL)型式:MP-19010NCTR各種金属の薄膜作製を、コンパクト…
オスミウム・プラズマコーター 導電性薄膜作製装置メーカー:日本レーザー電子型式:NL-OPC60Nオスミウム・プラズマコーター…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…