クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-708-[M230302A01]


メーカー:サンユー電子 型式:SC-708


大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/エッチングモード搭載 
カソード:8′ / 2 極対向電極  Auターゲット付属  
スパッタ&エッチング電流:0~50mA スパッタ&エッチング電圧:0.8 / 1.4kV
カンバーサイズ:内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
スパッタ薄膜作製はマイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応 
各種デバイスの電極膜/反射膜作製/サンプル表面親水化処理/PDMS表面処理


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キーワード(メーカー)サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード(品名)スパッタリング・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・コーター

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