メーカー：TOSKY（トスキー） 型式：UVR-200
この装置は、真空環境でのＵＶ照射により 硬化処理が向上される技術が採用されており、8インチまでのウェハリングに対応します。
ウェハ真空チャンバー・UV照射ランプ・真空UV照射・エキシマ照射・UV粘着剤・フィルム・チップ貼り付け
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キーワード（メーカー）アイグラフィック・浜松ホトニクス・トーコー・大宮工業・カンタム・コスモ技研
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・ダイサー・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置
