硬化装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年9月
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