硬化装置
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VUV真空キュア装置（真空紫外光硬化装置）TOSKYトスキー製 型式：UVR…
メーカー：TOSKY（トスキー） 型式：UVR-200未来産業技研ではUV照射装置のSDGsに積極的に取り組んでいますこの装置は、真空…
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リフロー炉（リフローはんだ付け装置）日本パルス製 RF-630 -[M220…
メーカー：日本パルス技術研究所 型式：RF-630卓上型遠赤外線式（IR）リフローはんだ付け装置です。300×300mmの基板まで対応…
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ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製 TMU064/TCP…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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スピンドライヤー コクサン製（国産遠心機） H-840…
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
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スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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エアーコンプレッサー 日立製 CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
