硬化装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年11月
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