硬化装置

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年11月
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