硬化装置

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  4. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
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