真空紫外光

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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