真空紫外光
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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4槽式超音波洗浄装置 USメック U29-51-Y – […
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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