真空紫外光

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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