真空紫外光

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 4槽式超音波洗浄装置　USメック　U29-51-Y – […

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
2025年4月
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