真空紫外光

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年8月
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