メーカー：ムサシノ電子（FISCHIONE） 型式：Model. 1020
プラズマクリーナは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付けます。この時、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。
特に半導体関連ではウエハーの除去やレジスト残渣除去などに使われ、なくてはならない装置となっています。
また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・パナソニック・サムコ・ハイソル・ノードソン・ハイソル・テクノアルファ
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置
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