品名：真空蒸着装置 メーカー：アルバック 型式：VPC-410
蒸着装置は、減圧下で物質を気化させて対象物上に製膜する真空蒸着 (VD) を行う装置です。蒸着装置を用いることで、対象物上に平滑な塗膜を形成することができ、その膜厚や組成の制御をすることも可能です。アルミニウムなどの金属材料や有機無機材料など様々な材料での成膜が可能です。
光学薄膜 (レンズの反射防止膜ズ、特殊ミラーなど)、磁気テープ、半導体（有機EL、LED、太陽光電池など)、電子部品 (抵抗やコンデンサ、半導体集積回路など)、食品包装材 (スナック菓子などの袋に用いられているアルミ蒸着フィルムなど)、分析用途
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キーワード（メーカー）真空デバイス・ジャパンクリエイト・日本電子・STS・アネルバ・昭和真空・長州産業・ALS
キーワード（品名）薄膜作成・半導体ウェハー・半導体チップ・エッチング装置・プラズマCVD・アッシング・スパッタ装置
