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   膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-6000-[M240906A19]

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   真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

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   クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701S-[M240524A01]

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4. 

   ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

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5. 

   真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40

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6. 

   真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

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