ピラニーゲージ

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年9月
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