薄膜

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年8月
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