薄膜

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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