本機（XDS）は、排気速度の増加・低到達圧力・低電力消費量・低騒音に加えガスバラストにより、水、溶剤、希薄酸および塩基類を含む凝縮性蒸気の排出が可能なドライスクロールポンプです。良質なチップシール技術も備えているため、チップシール交換の間隔が大幅に長くなり高寿命です。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラムポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
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