株式会社未来産業技術研究所

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   ピラニー真空ゲージ　アルバック製　GP-2A-[M220117A04]

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2. 

   真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

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3. 

   スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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4. 

   ドライポンプ　EBARA（荏原製）A07V-[M220408A08]

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5. 

   ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

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6. 

   ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

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7. 

   ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36CU-026-[M220718A01]]

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8. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

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9. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

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10. 

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-500

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