メーカー：ulvac アルバック製 型式：VD301
排気速度：240/260L/min (50/60Hz)
到達圧力：16.0×103
モーター出力：400W
吸排気口：O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2)
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キーワード（メーカー）アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原・樫山・大亜真空・アルカテル・島津
キーワード（品名）ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ・ドライポンプ・スクスロールポンプ
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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