マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]


メーカー:Canon(キャノン) 型式:PLA-600F


6インチ対応の露光装置(マスクアライナー)キャノンPLA-600Fのご紹介。
露光装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路や画素などのパターンを基板に描写するための装置です。
半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。
液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。


在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。

キーワード(メーカー)ミカサ・ナノテック・ウシオ電機・アドテック・京セラ・ユメックス・キャノン・ニコン
キーワード(品名)半導体ウェハー・半導体チップ・ダイサー・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置

関連記事

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置 日立製
    型式:E-1030(M220408A04)

  2. 顕微鏡ウェハーローダー・ニコン・NWL-641(M210114A12)

    ウェハーローダー ニコン顕微鏡
    型式NWL-641 (M210114A12)

  3. マニュアルワイヤーボンダー_K&S_4124

    マニュアルワイヤーボンダー K&S製
    型式:4124 (M210320A14)

  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製
    型式:SVC-720 (M200316A04)

  5. カーボンコーター(CARBON COATER)・日本電子(JOEL)・JEC-520

    カーボンコーター 日本電子製(JOEL)
    型式:JEC-520

  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701AT-[M230629A04]

  7. ディスペンサーコントローラー・武蔵エンジニアリング・MS-10(M200919A07)

    ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
    型式:MS-10 (M200919A07)

  8. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス製 VK-8510 -[M230314A12]

  9. イオンクリーナー、日本電子(JEOL)

    イオンクリーナー 日本電子製(JEOL)
    型式:JIC-410(ver2)(M190810A07)

  10. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    オートファインコーター 日本電子製(JOEL)
    型式:JFC-1600

  11. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製
    型式:VMB-1200P-M(M190922A07)

  12. コーティング機 ANDA製 型式:iCoat-X3 -[M230325A04]

  13. Thickness Monitor・日本電子(JOEL)・FC-TM10

    Thickness Monitor 日本電子製(JOEL)
    型式:FC-TM10

  14. リフロー炉(リフローはんだ付け装置)日本パルス製 RF-630 -[M220308A07]

  15. ディスペンサーロボット(ペースト塗布ロボット)武蔵エンジニアリング製 SHOTMASUTER300DSs

  1. ミキサー(撹拌機)井上製作所製 TX-15-[M230530A01]

  2. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UNISTAT 910W-[M2…

  3. 卓上防振台 特許機器製 TAP-34NS1-[M230704A10]

  4. グローブボックス アズワン製(AS ONE)GB600-[M211224A08]

  5. 微量高速遠心機 トミー精工製 MRX-151-[M220117A02]

  6. 微量卓上遠心機 トミー精工製 MV-100-[M220318A01]

  7. 遠心機 トミー精工製 MC-150-[M220903A03]

  8. 振とう機-シェイカー- サーマル科学産業製 DS-501-[M230214A11]

  9. 工業用ホットプレート アズワン製 EC-1200N-[M230502A02]

  10. 分割分包機 エルク製-ウエダヴァンス- U-PACK-21-[M230502A06]

  1. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…

  2. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡(3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡)<br>キー…

  3. 超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230531A07]

  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-1600A (M200701A…

  5. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…

  6. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]

  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…

  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…

  9. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]

  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)

2023年12月
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031