メーカー：Canon（キャノン） 型式：PLA-600F
6インチ対応の露光装置（マスクアライナー）キャノンPLA-600Fのご紹介。
露光装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路や画素などのパターンを基板に描写するための装置です。
半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。
液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。
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キーワード（メーカー）ミカサ・ナノテック・ウシオ電機・アドテック・京セラ・ユメックス・キャノン・ニコン
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・ダイサー・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置
