マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]


メーカー:Canon(キャノン) 型式:PLA-600F


6インチ対応の露光装置(マスクアライナー)キャノンPLA-600Fのご紹介。
露光装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路や画素などのパターンを基板に描写するための装置です。
半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。
液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。


在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。

キーワード(メーカー)ミカサ・ナノテック・ウシオ電機・アドテック・京セラ・ユメックス・キャノン・ニコン
キーワード(品名)半導体ウェハー・半導体チップ・ダイサー・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置

関連記事

  1. イオンスパッタ、日本電子(JEOL)、JFC-1100E

    イオンスパッタ装置 日本電子製(JEOL)
    型式:JFC-1100E (M190926A05)

  2. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-708-[M230302A01]

  3. ピーリングテスター(剥離強度試験器)・日本ガータ・NPT-100

    ピーリングテスター(剥離強度試験器)
    日本ガータ製 型式:NPT-100 (M210303A04)

  4. イオンスパッタ装置 JEOL製(サンユー電子)型式:JFC-1500-[M220930A02]

  5. ディスペンサーロボット(ペースト塗布装置)武蔵エンジニアリング SHOTmini 200DS

  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置 日立製
    型式:E-1030(M220408A04)

  7. スピンコーター_ミカサ_1H-D2

    スピンコーター ミカサ製
    型式:1H-D2 (M210408A02)

  8. スピンドライヤー コクサン製(国産遠心機) H-840SA -[M210625A03]

  9. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  11. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製
    型式:UB011-5A,B MH (M210119A02)

  12. イオンクリーナー、日本電子(JEOL)

    イオンクリーナー 日本電子製(JEOL)
    型式:JIC-410(ver2)(M190810A07)

  13. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230325A05]

  14. ヘリウムリークディテクター アネルバ製(アルカテル)ASM110 TURBO CL-[M211130A06]

  15. リフロー炉(リフローはんだ付け装置)日本パルス製 RF-630 -[M220308A07]

  1. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  2. エアーコンプレッサー 日立製 CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  3. 表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]

  4. ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  5. ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  8. ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]

  9. CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…

  10. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  1. エアーコンプレッサー 日立製 CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ アルバック製<br>型式:DIS-500

  3. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…

  4. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]

  6. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br…

  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  8. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

2024年5月
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
2728293031