FPD

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  7. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  9. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2024年7月
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