FPD

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  8. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  9. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
2024年10月
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