露光装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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