マスクアライナー

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2026年7月
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