マスクアライナー

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  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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