マスクアライナー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 恒温槽　エスペック　PH-402

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年10月
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