マスクアライナー

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  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年5月
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