マスクアライナー

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
2026年6月
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