マスクアライナー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年10月
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