株式会社未来産業技術研究所
メーカー:テクトロニクス 型式:
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…