株式会社未来産業技術研究所
メーカー:シバソク 型式:
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…