株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：アステック　　型式：ARF-1053　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製<br>型式：NEB-10W （M210108A25）

真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型式：SVC-720 （M200316A04）

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