（株）未来産業技術研究所

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メーカー：アステック　　型式：ARF-1053　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製<br>型式：NEB-10W （M210108A25）

チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化機械）<br>型式：CA-1115 （M200408A04）

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