メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNIT
ピラニ真空計は、真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された中真空領域の測定によく使用されています。
中真空領域とは、油回転真空ポンプを使用して到達できる真空状態であり、フロンガス吸引等の測定時の計測など高真空～超高真空排気系の粗引きラインや高真空ポンプの背圧ラインに使用され、理化学実験で真空状態を作る際や真空蒸着、凍結乾燥、医療用機器、分析機、レーザー応用装置、真空排気装置、半導体製造装置のプラズマエッチング空間、電子顕微鏡真空パック等の測定にも使用されています。
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キーワード（メーカー）VISTA・神港精機・佐藤真空・アネルバ・アルバック・インフィコン・プロダクトアイ
キーワード（品名）真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・真空応用装置・半導体製造装置・理化学機器・分析装置
