ロータリーポンプ エドワーズ E2M28

ロータリポンプとは、中真空 (10^-1 Pa) 程度までの真空状態を容易に実現するポンプです。正式には油回転真空ポンプと呼ばれます。主な特性は以下の通りです。超高真空を実現する際に初期段階の減圧 (粗引き) や、システム全体の背圧を維持するためのバックポンプとして使用されることが多く、多種多様な利用方法にフィットします。

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キーワード(メーカー):アルバック・大阪真空・佐藤真空・ライボルト・エドワーズ・島津製作所・アルカテル
キーワード(品名):ドライポンプ・油拡散ポンプ・スクロールポンプ・クライオポンプ・ターボ分子ポンプ

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