油回転式真空ポンプ

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. RF電源　RFPP　RF20S
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年6月
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