サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

サーモカップル真空計　TCゲージ　熱電対真空計
メーカー：ANELVA（アネルバ）　型式：MTG-012
圧力測定範囲：200Pa～10-1Pa

サーモカップル真空計（熱電対真空計）は、気体分子の熱伝導現象を利用して中真空領域（約 10~1000 Pa ～ 0.1 Pa 程度）の圧力を測定する装置です。加熱されたワイヤが周囲の気体から奪われる熱量（熱伝導）を熱電対で測定し、その温度変化を圧力に換算します。安価で頑丈なため、半導体製造や真空乾燥装置のあら引き真空計として広く使用されています。フィラメント（白金やタングステン）に電流を流して一定量加熱します。周囲のガス圧が高いとワイヤから奪われる熱量が多く温度が下がり、圧力が低い（真空度が高い）と奪われる熱量が少なく温度が上がります。このフィラメントの温度変化を、接着された熱電対（サーモカップル）の起電力変化として捉え、圧力に換算します。

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キーワード（メーカー）：アネルバ・日本電子・インフィコン・アルバック・HORIBA・島津製作所・INFICON
キーワード（品名）：真空蒸着機・スパッタ装置・エッチング装置・CVD装置・測定子・フィラメント・真空応用装置

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