サーモカップル真空計

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年9月
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