株式会社未来産業技術研究所

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1. 

   スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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2. 

   ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

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   • 真空ポンプ
3. 

   ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36CU-026-[M220718A01]]

   • ロータリーポンプ
   • 真空ポンプ
4. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

   • ロータリーポンプ
   • 真空ポンプ
5. 

   ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

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6. 

   スクロールポンプ　アルバック製
   型式：DIS-500

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   • 真空ポンプ
7. 

   電離真空計（イオンゲージ）アネルバ製
   型式：M-832HG （M210108A37）

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   • 真空コンポーネント
8. 

   電離真空計（イオンゲージ）　アネルバ製 型式：M-822HG （M210108A30）

   • イオンゲージ
   • 真空コンポーネント