株式会社未来産業技術研究所
メーカー:リオン 型式:
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
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