プラズマ電源
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA30…
メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EXMOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW数kHzから数百kHz程度の周波数で一…
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A3…
メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ1000V 15kWこの装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソー…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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RF電源（EB電源） 日本電子製（JEOL）
型式：JRF-750 （…中古の日本電子（JEOL）製のEB電源です。
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M21…メーカー：アステック 型式：ARF-1053 在庫状況,…
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レーザー干渉計 オリンパス KIF-202 -[M230314A03]
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス製 VK-8510 -[M…
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ドラフトチャンバー ヤマト科学製 LDS150 -[M220620A02]
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シェイカー（振とう機）サーマル化学産業 型式：DS-501 -[M230214A…
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安全キャビネット 日立製 SVC1306ECⅡAB -[M230502A05]
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純水製造装置オートスチル（蒸留水製造装置）ヤマト科学製 WS-33
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]
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超音波洗浄機（卓上）ブランソン製（ヤマト科学）5510J-MT[M230325A…
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超純水製造装置 メルクミリポア製 AFS 8D -[M230423A01]
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安全キャビネット 日立製 SCV-803EC2A -[M220619A01]
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レーザーマーカー パナソニック製（panasonic）LP-410TU-[M220607A…
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DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303A05）
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<br>型式：UB011…
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樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br>型式：JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （M210320A04）
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FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製<br>型式：SMI9200IW （M2001…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡）<br>キー…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-1600A （M200701A…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-1Q
