プラズマ電源

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  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年8月
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