RF電源　アルバック　RFS-005

RF Generator／プラズマ電源／スパッタ電源
メーカー：ulvac　型式：RFS-005
出力電力500W　出力周波数13.56MHz

高周波電源（RF電源）とは、数kHzから数百kHz程度の周波数で、一定の電圧を出力する電源のことです。高周波電源は、誘導加熱と呼ばれる手法で、主に物体を加熱するのに使われます。主に半導体製造装置のプラズマ発生や、誘導加熱などに用いられます。RF電源は、10kHz以上の高周波電流を発生させる装置で、特に13.56MHzの周波数が半導体製造でよく使われます。

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キーワード（メーカー）：アルバック・AD-TECH・NF回路設計・アドバンスエナジ―・京三・アネルバ・AMAT
キーワード（品名）：DC電源・プラズマ電源・高周波電源・RF電源・パルス電源・マイクロ波電源・MKS

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