ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
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キーワード（メーカー）：アルバック・大阪真空・セイコー精機・アネルバ・佐藤真空・アンレット・ライボルト・エドワーズ
キーワード（品名）：ドライポンプ・油拡散ポンプ・スクロールポンプ・クライオポンプ・ロータリーポンプ
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