plasmgenerator

  1. RF電源 アルバック RFS-005

  2. RF電源 ダイヘン DRFS-5SA

  3. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]

  5. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]