RF電源
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA30…
メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EXMOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW数kHzから数百kHz程度の周波数で一…
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A3…
メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ1000V 15kWこの装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソー…
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RF電源（EB電源） 日本電子製（JEOL）
型式：JRF-750 （…中古の日本電子（JEOL）製のEB電源です。
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マッチングボックス 日本電子製（JEOL）
型式：EH-MN01A （…中古の日本電子（JEOL）製マッチングボックスです。
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M21…メーカー：アステック 型式：ARF-1053 在庫状況,…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
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ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製 TMU064/TCP…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
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多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
