（株）未来産業技術研究所

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メーカー：日新技研　　型式：NEB-10W　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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膜厚コントローラー（Deposition Controller）<br>インフィコン製　型式：IC/5 （M210108A20）

RF電源（プラズマ電源）アステック製<br>型式：ARF-1053 （M210320A06）

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