電子銃電源

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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