アナライザー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  7. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2024年10月
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