アナライザー

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…
2026年9月
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