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  1. スクロールポンプ　エドワーズ　ESDP12-[M240604A06]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231212A02]

  3. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　EBARA（荏原製）A07V-[M220408A08]

  8. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

  9. ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

  11. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]
  12. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-500

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