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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]
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真空ゲートバルブ アルバック製(ulvac)VUGP-40
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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