株式会社未来産業技術研究所

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1. 

   クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701S-[M240524A01]

   • スパッタ装置
   • 真空装置
2. 

   真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

   • スパッタ装置
   • 半導体・電子部品装置
3. 

   ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

   • 真空応用装置
   • 半導体・電子部品装置
4. 

   ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

   • 半導体レーザー
   • 半導体・電子部品装置
5. 

   マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

   • RF電源
   • 半導体・電子部品装置
6. 

   真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40

   • 真空排気システム
   • 真空装置
7. 

   真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

   • 電離真空計
   • 真空装置
8. 

   アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

   • 真空部品
   • 真空装置
9. 

   ゲートバルブ　HVA製　ICF114 & ICF86 & ICF70

   • アングルバルブ
   • 真空装置
10. 

    アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

    • ゲートバルブ
    • 真空ポンプ