紫外線照射装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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