紫外線照射装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  4. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2024年10月
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