紫外線照射装置

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 恒温槽　エスペック　PH-402

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
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