紫外線照射装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年11月
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