ion

  1. イオンスパッタ装置 JEOL製(サンユー電子)型式:JFC-1500-[M220930A02]

  2. 純水製造装置オートスチル(蒸留水製造装置)ヤマト科学製 WS-33

  3. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]

  4. 電離真空計(イオンゲージ)ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

  5. イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]