イオン

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年6月
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