vacuum

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701S-[M240524A01]

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

  3. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  4. 電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

  5. アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

  6. ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]
  7. ターボ分子ポンプ・ファイファー（PFEIFFER）・TMU521

    ターボ分子ポンプ　ファイファー製（PFEIFFER）
    型式：TMU521
  8. カーボンコーター（CARBON COATER）・日本電子（JOEL）・JEC-520

    カーボンコーター　日本電子製（JOEL）
    型式：JEC-520
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    オートファインコーター　日本電子製（JOEL）
    型式：JFC-1600
  10. 凍結乾燥装置（Freeze Drying Device）・JEOL・JFD-310

    凍結乾燥装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JFD-310

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