絶対圧力計

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年7月
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